沿革

2006年10月 会社設立
2007年04月 つくば産業総合技術研究所と共同研究開始
2007年07月 第18回マイクロマシン展出展(その後12年間継続出展中)
2007年11月 群馬薄膜技術研究所設立
2008年03月 神奈川県産業技術センターR&D展出展
2009年01年 山梨大学へ技術支援してサンプル作成

2009年09月 神奈川県大学発・企業発ベンチャー事業化プロジェクト支援助成に採択
2010年04月 横浜国立大学と共同研究開始(継続中)
2011年02月 ナノテク展に出展
2011年10月 神奈川県産業技術センター製品開発室に入居
2013年07月 第1回ナノマイクロビジネス展に出展

2013年10月 ものづくり中小企業・小規模事業者試作開発等支援補助金に採択
2014年01月 インターネプコン展に出展

2014年04月   第2回ナノマイクロビジネス展に出展

2015年01月   インターネプコン展に出展

2015年01月 慶應大学藤沢イノベーションビレッジ(SFC-IV)へ慶應藤沢研究所として移転、入居

2015年04月 第3回ナノマイクロビジネス展に出展

2015年12月 セミコン・ジャパン2015に出展

2016年09月 MEMSセンシング&ネットワークシステム展2016(パシフィコ横浜)に出展

2016年11月 57回電池討論会2016併設展示会(幕張メッセ)に出展

2016年12月 セミコン・ジャパン2016(東京ビッグサイト)に出展

2017年10月 MEMSセンシング&ネットワークシステム展2017(幕張メッセ)に出展

2017年12月 セミコン・ジャパン2017(東京ビッグサイト)に出展

2018年10月 MEMSセンシング&ネットワークシステム展2018(幕張メッセ)に出展(MEMS展関係連続13回出展予定)

2018年11月 第59回電池討論会(大阪国際会議場)に出展

共同研究

<産学官提携事業>

 

・つくば産業技術総合研究所との技術協力
   MEMSの薄膜コーティング技術で電子デバイス開発(スプレーコーターによる3次元MEMS製造プロセス開発)
・横浜国大との共同研究
   特殊化学装置開発
・大学・国立研究所・県産業技術センターへ技術提携
   燃料電池・水素発生装置・ウエラブル端末センサー・Iot関連・薄膜粒子膜形成などの技術協力