沿革

2006年10月 会社設立
2007年04月 つくば産業総合技術研究所と共同研究開始
2007年07月 第18回マイクロマシン展出展
2007年11月 群馬薄膜技術研究所設立
2008年03月 神奈川県産業技術センターR&D展出展
2008年07月 第19回マイクロマシン展出展
2009年01年 山梨大学へ技術支援してサンプル作成
2009年07年 第20回マイクロマシン展出展
2009年09月 神奈川県大学発・企業発ベンチャー事業化プロジェクト支援助成に採択
2010年04月 横浜国立大学と共同研究開始(継続中)
2010年07月 第21回マイクロマシン・MEMS展に出展
2011年02月 ナノテク展に出展
2011年07年 第22回マイクロマシン・MEMS展に出展
2011年10月 神奈川県産業技術センター製品開発室に入居
2012年07月 第23回マイクロマシン・MEMS展に出展
2013年07月 第1回ナノマイクロビジネス展に出展
2013年10月 ひらつかテクノフェアに出展

2013年10月 ものづくり中小企業・小規模事業者試作開発等支援補助金に採択
2014年01月 インターネプコン展に出展

2014年04月   第2回ナノマイクロビジネス展に出展

2015年01月   インターネプコン展に出展

2015年01月 神奈川県産業技術センターから慶應大学藤沢イノベーションビレッジ(SFC-IV)へ移転、入居

2015年04月 第3回ナノマイクロビジネス展に出展

2015年12月 セミコン・ジャパン2015に出展

2016年09月 MEMSセンシング&ネットワークシステム展2016(パシフィコ横浜)に出展

2016年11月 57回電池討論会2016併設展示会(幕張メッセ)に出展

2016年12月 セミコン・ジャパン2016(東京ビッグサイト)に出展

2017年10月 MEMSセンシング&ネットワークシステム展2017(幕張メッセ)に出展

2017月12月 SEMICON・Japan2017(東京ビッグサイト)に出展予定

共同研究

<産学官提携事業>

 

・つくば産業技術総合研究所との共同研究
   MEMSの薄膜コーティング技術で電子デバイス開発(スプレーコーターによる3次元MEMS製造プロセス開発)
・横浜国大との共同研究
   特殊化学装置開発
・山梨大学へ技術供与
   薄膜砥粒膜形成技術の確立